精密仪器专业是面向高端制造装备、生物医学工程和航天国防等重大科学前沿领域，以精密机械、光学、电子、量子技术、人工智能等相关学科前沿技术为手段，探索、研究、设计和研制新原理高端仪器，并实现其自动化、信息化和智能化，以多学科交叉融合为显著特征的综合性和前沿性学科。新的测量原理与仪器本身就有数十项获得过诺贝尔奖，其重要性可见一斑。

本专业创建于1955年，是我国成立最早的一批精密仪器类专业。在苏联专家帮助下创办了全国第一批研究生班，培养出我国第一批仪器科学与技术领域的学术带头人；“精密仪器专业”也成为哈工大最早的名牌专业，其所在的仪器科学与技术学科是首批一级学科博士学位授权点、首批博士后流动站、首批国家一级重点学科。2016年全国一级学科评估名列第四。

本专业以谭久彬院士团队为核心，建立了“国防科技工业超精密机械加工技术研究应用中心”、“精密测量技术与仪器工程黑龙江省重点实验室”、“哈尔滨工业大学精密仪器工程研究院”，是我国从事超精密测量技术与仪器研究的重要科研与人才培养基地。

培养我国超精密测量技术与仪器研究的人才。

传感器、精密仪器设计、精密仪器电路、精密机械零件、工程光学、激光物理、光电子技术、几何量计量、机械量计量、误差理论与数据处理、光组设计等